王科(),

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
前山街道辖区拥有暨大科技园、金嘉创意谷、乐士文化区等成熟OPC创业载体,依托健全的政企校联动机制和全链条创业服务保障,重点支持暨南大学等在珠高校大学生创新创业,助力更多OPC创业想法在前山转化为实际成果。
活动现场,香洲区市场监督管理局为德天智核科技、源起科技、勃勃科技三家企业颁发OPC营业执照,打通营商环境“绿色通道”,切实为OPC创业主体在前山落地发展保驾护航。
在主题分享环节,多位行业大咖各抒己见,带来前沿技术解读与实战创业经验,为青年创客明晰方向、拓宽思路。
其中,暨南大学智能科学与工程学院院长杨光华从AI时代生产力变革视角,解读“一人公司”到“一人军团”的创业新形态,点亮技术赋能创业之路;中国计算机学会(CCF)大湾区办事处主任蓝维维系统梳理OpenClaw到OPC的发展脉络,深入剖析智能体发展的机遇与挑战;极界机器人(珠海)有限公司总经理杨达宁结合自身海外经历与创业实践,分享海归青年运用OPC模式创业的宝贵经验;亚信安全科技股份有限公司广东省办技术顾问杨凡从安全应用角度,分享OpenClaw企业体系化防护方案,为技术应用筑牢安全屏障。
OpenClaw安全使用交流环节中,现场嘉宾、企业代表与暨南大学学子围绕OpenClaw技术应用、OPC创业规划、政策对接、资源匹配等话题展开深入探讨,在思想碰撞中凝聚创新共识。
不少参与者表示,本次活动不仅深入了解了OpenClaw与OPC的发展内涵,汲取了前沿技术与创业干货,更结识了志同道合的伙伴,为后续创业探索积累了宝贵资源。
前山街道党工委书记吴标表示,前山街道将持续优化辖区创业营商环境,完善全链条创业服务体系,聚焦青年创业核心需求开展更多赋能活动,全力破解创业难点堵点,助力更多青年创客在前山落地生根、逐梦成长,为辖区数字经济与人工智能产业高质量发展注入源源不断的青春活力。
" alt="共探AI创业新机遇,OPC青年创客沙龙在暨南大学珠海校区举行">共探AI创业新机遇,OPC青年创客沙龙在暨南大学珠海校区举行据灯塔专业版,截至5月1日17时23分,2024年五一档首日票房达3.15亿,已超过去年五一档首日(3.149亿)!
《维和防暴队》《末路狂花钱》《间谍过家家 代号:白》暂列五一档首日票房前三位。
(总台央视记者 许盼盼)
" alt="3.15亿!2024年五一档首日票房超过去年">3.15亿!2024年五一档首日票房超过去年这是蜀山区稻香村街道黄山路社区的日常缩影。该社区常住人口5000多人,注册志愿者已达1200人。近日,2024年度全国志愿服务“四个100”先进典型发布,黄山路社区获评“最美志愿服务社区”称号。
“老”社区有“新”机制
黄山路社区集科教、IT商业和居住为一体,辖区南至太湖路、北至黄山路、东至金寨路、西至合作化路,区域面积有0.92平方公里。
“我们社区有点大又有点‘老’。”黄山路社区党委书记、社居委主任刘凯介绍,为了让社区治理更有抓手,社区想了一个办法——集纳力量,共同治理。
该社区以社区“大党委”为核心,联合18家非公企业、5家驻地单位、2所高校及200余名社区志愿者,组建“巷陌红盟”党建品牌,建立“需求联商、资源联用、项目联办”机制,并打造10支特色志愿服务队伍,构建人人参与、人人共享的基层治理新格局。
2024年,通过联盟机制整合资源,社区还孵化了“智慧助老”“儿童护航”等8个志愿服务项目。
与此同时,社区积极盘活党群服务中心、新时代文明实践站、小区广场等阵地,设立“志愿服务驿站”,提供各项便民服务;开通“巷陌民声”线上线下反馈渠道,鼓励居民提交“微需求”,发动志愿者参与老旧小区改造、停车位规划、环境整治等民生实事,累计解决群众关切问题120余件。
为激励志愿者积极参与志愿服务,社区发放“巷陌幸福卡”,志愿者可凭服务积分兑换“巷陌红盟”成员单位提供的购物折扣、免费体检等福利,形成良性循环。
企业力量助阵社区治理
在社区众多志愿服务队伍中,值得一提的,当属社区精心组建的“企业帮帮顾问团”。它集纳了47家辖区企业,为居民提供帮助。
刘凯介绍,之所以组建这样一支队伍,是因为在走访中发现,居民有些困难涉及专业的知识,仅靠社区难以提供专业支持,因此希望吸纳具有专业资质或行业经验的企业参与社区治理和服务。
“企业帮帮顾问团”一方面要求发挥企业自身的专业优势,如消防安全、法律咨询、司法鉴定、建筑装修、物业服务等,为辖区居民或企业提供咨询和帮助;另一方面,也邀请企业参与社区日常结对帮扶活动,服务辖区困难居民,协助提升小区、楼宇环境等。
合肥志洋科技有限公司便是企业帮帮顾问团的成员之一。节日慰问困难老人、日常帮居民维修电脑、整理共享单车……4年来,该公司员工的身影活跃在多次志愿服务中。该公司党支部书记朱建超说:“企业参加志愿服务,既能为居民做点事情,也通过社区搭建的平台,增进了与辖区其他企业的交流。”
“一群人”织就一隅温暖
黄玉梅是黄山路社区彩虹快递志愿爱心服务队的副队长。该服务队成立于2006年7月,是社区最早的志愿服务队伍,主要发动退休党员、热心居民等,为高龄、孤寡、特困老人提供“一对一”代购、送餐等服务。
黄玉梅认为,志愿者是社区发展的重要力量,不仅帮助社区解决实际问题,还能促进邻里和谐、增强社区凝聚力,带动社区居民主动关心事务,形成“人人为我,我为人人”的良好氛围。
目前,黄山路社区注册志愿者共有1200人,占常住人口比例达23.1%,累计开展志愿服务活动2000余场,服务群众超3万人次。
“未来,我们将持续做好‘巷陌红盟’品牌,吸纳更多企业、高校、个体户等社会力量,为居民提供更多元的服务。”刘凯表示,社区计划推动开展公益市集、科普活动等项目,进一步盘活志愿服务资源,营造“人人参与、人人共享”的良好氛围。(记者 任海怡 通讯员 陈珉 刘亚萍)
" alt="绘就志愿服务“同心圆” 织密社区治理“连心网”">绘就志愿服务“同心圆” 织密社区治理“连心网”

戍鼓断人行,边秋一雁声
露从今夜白,月是故乡明
本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢?请快和小玻一起走进第328期玻璃周刊吧!


国际动态

1、阿联酋浮法玻璃计划建设第二条浮法线
迪拜投资公司宣布计划通过新增第二条浮法生产线,将阿联酋浮法玻璃公司(EFG)的产能翻倍,日产量将从600吨提升至1200吨。
这种对扩张和先进技术的投入,确保了EFG始终走在工业创新和卓越发展的前沿。
阿联酋浮法玻璃公司是一家位于阿联酋阿布扎比的浮法玻璃生产厂。该工厂由迪拜投资公司于2009年建立,是该地区建筑和汽车用浮法玻璃领域的领先企业,拥有最先进的生产设施。


2、圣戈班玻璃推出COOL-LITE? XTREME 51/23(II)
我们如何才能让建筑物引入最多的自然光,同时防止过热、降低能源成本并减少碳排放呢?
圣戈班玻璃推出了COOL-LITE? XTREME 51/23 及 51/23 II——该公司最新的高性能三银镀膜玻璃解决方案,以此作为回应。
这些新产品为太阳能控制玻璃树立了新标准,集舒适性、美观性和可持续性于一体


3、Forglass准备在美国推出新技术
十多年来,Forglass 一直不懈地开发和应用创新技术,其唯一目标是:帮助玻璃生产商以最直接的方式实现玻璃生产的脱碳。
本周,10月6日至9日在美国俄亥俄州托莱多举行的第86届玻璃问题会议暨研讨会上,福格拉斯(Forglass)将分享其在熔化技术、配料车间和碎玻璃技术生产线方面的多项创新与发明。
请务必前往22号展位参观Forglass。


4、李赛克跻身奥地利管理最佳企业之列
李赛克(LiSEC)被评为“2025年奥地利最佳管理公司”。该评选活动由德勤奥地利、下奥地利-维也纳 Raiffeisen 州立银行以及商业杂志trend联合举办。
这一久负盛名的奖项旨在表彰那些展现出卓越企业管理、可持续战略和浓厚企业文化的公司。


国内新闻
(以下排序不分先后)

1、大连耀皮熔窑节能升级及浮法玻璃生产线自动化改造项目点火
耀皮玻璃(600819)10月10日晚间公告,全资子公司大连耀皮玻璃有限公司熔窑节能升级及浮法玻璃生产线自动化改造项目于6月23日停产升级改造。期间,公司积极推进升级改造工作,于10月10日成功点火,投产后将进一步提升产品质量、生产线自动化水平和环保效益。


2、南玻将在阿布扎比建首个智慧能源储能玻璃工厂
据阿联酋阿布扎比哈利法经济区(KIZAD)官方网站2025年10月7日消息, 阿布扎比哈利法经济区地区最大的综合和专用经济区运营商阿布扎比哈利法经济区集团(KEZAD Group),当日宣布,全球节能玻璃和先进材料领先企业中国南方玻璃(CSG),将在阿联酋建立其首个海外智能制造工厂。


3、彭寿院士与日本AGC岛村会长举行会谈
近日,中国工程院院士、中国建材集团首席科学家彭寿访问日本AGC株式会社,与AGC岛村会长举行会谈。双方围绕国际玻璃行业的现状与未来发展交换意见,并就新能源、新工艺、新技术的研发与工业化应用进行深入讨论。


4、海控三鑫(蚌埠)将于9月底全面停产 拟申请破产清算
海控南海发展股份有限公司(简称海南发展)于2025年10月9日发布公告,宣布其控股子公司海控三鑫(蚌埠)新能源材料有限公司(以下简称“海控三鑫”)将于2025年9月底实施全面停产,并计划申请破产清算。

5、中玻跨境即将走进土耳其
土耳其玻璃展:连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞,离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办,并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展,已成功举办14届,今年迎来第15届,再次成为行业焦点。
展会时间:2025年11月15-18日
展会地点:土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心


END
(注:本篇文字部分由记者小玻收集整理,图片来源于网络。如有侵权,请联系我们。)

" alt="328期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.6">328期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.6
在介绍周长潜能之前,咱们先来简单介绍一下潜能系统。潜龙系统说白了就是相当于给球员某一项进行加强,我们可以让一个球员综合水平变得均衡,也就是用潜能弥补他的短板,也可以用潜能让一个球员的某一项水平突出,用潜能来扩大他的长处。而且潜能也并不是能白白获得的,是需要通过大量的资源才能刷够一个球员的潜能,所以我们在游戏的前期一定要节约潜能资源,不能随便的去刷潜能。

所以如何去根据球员的属性刷他的潜能,在游戏前期是至关重要的。像周长这种后卫球员,他的特点就是位移多速度快可以通过自身优势为团队拿下大量的分数,也能起到一个辅助效果,三分的命中率高,我们就需要综合以上这几点来为他选择合适的潜能。

在红色潜能方面,周长更适合增加运球属性和三分属性的自走炮台,这事很多,搬家可能要问,周长作为一个主力的三分球员,他的技能和属性也是更偏向于强有力的命中,为什么不选择属性更加暴力的火力覆盖呢?其实这也是许多玩家在满洲长时的一个误区,因为火力覆盖的属性看似暴力,能为周长提供稳定程度和传球能力,但是其实对于周长这类需要灵活运球的球员来说,运球能力才是它的关键,所以红色潜能佩戴自由炮台的收益是要大于佩戴火力覆盖的。

周长的绿色潜能则推荐佩戴乾坤挪移,这个潜能的选择其实没什么好说的,因为周长作为一个需要持续控球,拿球的球员,他的抢断能力一定是不能弱的,如果弱的话,那在团队对抗当中将会很被动。这个潜能也增加了他一点跑动能力,可以让周长在转场能力和移动能力都得到增强。

周长的蓝色潜能推荐佩戴后发制人。这个潜能会进一步的提升,周长的三分能力同时也弥补了,因为红色潜能不带火力覆盖,而缺少的一点稳定属性,同时后发之人也可以为周长增加他的中分能力,虽然周长不以中分著名,但中分作为一个篮球球员的基本功,周长这里也是必不可少的。

佩戴上述潜能,不仅可以将周长的属性发挥到最大化,同时也能弥补他的一些短板。在目前版本来说,这些也是最适合周长的潜能了。
好了,小编在本篇文章对全明星街球派对周长潜能展开了分析,其实在目前版本来说,周长他的单人作战能力和控场得分能力,是几乎罕逢敌手的,是非常推荐大家把他当做主力球员培养。
" alt="全明星街球派对周长潜能该带什么 周长潜能攻略">全明星街球派对周长潜能该带什么 周长潜能攻略在程庄村小河边的实践课堂上,志愿者们通过互动问答、情景模拟等形式,生动形象地向孩子们传授安全知识。“发现有人溺水该怎么办?”的问题一抛出,孩子们纷纷抢答:“找大人帮忙!”“打报警电话!”现场气氛热烈。
活动重点围绕“防溺水六不”原则展开,志愿者带领孩子们高声诵读,将安全理念深植童心。针对暑期常见安全隐患,志愿者们还详细讲解了居家用电安全、雷雨天气避险等知识。在急救技能培训环节,志愿者“手把手”指导孩子们进行心肺复苏法演练,帮助孩子们掌握基本急救技能。活动通过寓教于乐的方式,让孩子们在轻松愉快的氛围中掌握了实用的安全知识和技能,得到了村民和家长的一致好评。
据了解,“燕飞来”志愿者服务队长期关注儿童安全教育,通过“安全‘童’行”“开学第一课”等系列活动,持续提升青少年安全意识和自我保护能力。进入暑假以来,服务队采取“走出去+请进来”相结合的方式,进社区、进乡村,同时邀请孩子们走进燕飞来新时代文明实践中心,开展专题安全教育活动十余场,与家庭、学校形成教育合力,共同筑牢儿童安全防线。(记者 于晓 通讯员 王也 王于皞 郑嘉峰)
" alt="“燕飞来”安全课堂 守护乡村儿童">“燕飞来”安全课堂 守护乡村儿童广东省城市足球超级联赛
要来了!
3月2日,2026年广东体育城市联赛组委会成立大会暨第一次全体会议在广州举行,标志着2026年广东省城市篮球联赛、广东省城市足球超级联赛正式进入全面实施阶段。目前,梅州市队球员选拔工作正在紧张进行。
图片为Ai生成。
“粤BA”3月升级亮相
作为广东重点打造的年度群众体育IP,2026年广东省城市篮球联赛(“粤BA”)即将热血启幕,揭幕战计划于3月举行。

自2015年创立至今,广东省男子篮球联赛已点燃全省民间篮球热潮,在此基础上全新升级的广东省城市篮球联赛,将更深度聚焦群众参与、本土情怀与青少年培育。
这场升级不仅是对赛事规模的拓展,更是对篮球文化的深耕。全新亮相的粤BA,将力争打造一场集观赏性、参与性、竞技性与经济活力于一体的南粤文体新名片,激活体育消费新场景,为城市发展注入新动能,实现赛事流量变旅游留量,竞技激情燃经济新机的良性循环。
根据竞赛规程,本届粤BA分为东、西两区展开角逐。其中西区汇聚广州、珠海、佛山、中山、江门、阳江、湛江、茂名、肇庆、云浮10支代表队,东区汇聚清远、韶关、惠州、东莞、深圳、河源、梅州、潮州、揭阳、汕头、汕尾11支代表队,小组赛阶段采用主客场单循环赛制,让热爱在家门口落地,让较量在主场升温。
足球联赛“一城一主场”
而作为全省最高水平的业余足球赛事之一,2026年广东省城市足球超级联赛计划于4月至11月举办,实行一城一主场制。该赛事将成为展示各地城市体育风采、推动足球文化交流的重要平台,通过足球运动凝聚城市精神。
全省21个市将各派1支代表队参赛,球队以城市命名,一城一主场。联赛为11人制男子足球联赛,分两个阶段进行,第一阶段为常规赛,第二阶段为淘汰赛。
本届联赛不仅是竞技舞台,更将力求打造“赛事+文旅”融合平台,串联各地文化特色,拉动体育消费,展示南粤城市形象。目前,潮州、珠海等多地已启动运动员招募选拔工作,汇聚本土足球人才,力争在赛事中展现城市风采,让足球运动成为联结广东21城的精神纽带。
当体育城市联赛打响
双赛齐鸣,燃动全省
21城激情联动
将奉献一场文旅商体展融合的
城市嘉年华!
编辑:罗欢欢
审核:练海林
" alt="广东21城“为城而战”!梅州,蓄势待发!">广东21城“为城而战”!梅州,蓄势待发!
本网讯 自3月28日正式通航以来,金安机场已引入各类通航企业10家,包括行业头部企业亿航智能、零重力科技等。截至10月底,金安机场通航飞行总架次2388架次,训练时长321.5小时。
金安机场依托区位优势,着力打造集研发测试、适航认证、场景应用于一体的低空经济综合体。其中,亿航智能EH216-S机型已获得中国民用航空局(CAAC)颁发的全球首张无人驾驶载人电动垂直起降(eVTOL)航空器型号合格证(TC)、生产许可证(PC)和标准适航证(AC)。其全冗余安全设计、智能导航系统及模块化舱体结构代表当前城市空中交通领域的顶尖水平。在金安机场开展的飞行测试,将进一步完善EH216-S机型的运行标准与应急处置机制。同步进驻的零重力科技“ZG-ONE鹊飞”eVTOL机型则展现出垂直起降飞行器的创新潜力。该机型采用顶置十二轴十二桨及100%纯电驱动,可在大幅降低飞行噪音的同时保障稳定性和抗风性,安全性能卓著。“ZG-ONE鹊飞”有自动驾驶功能,可根据规划航线自主飞行,兼具直升机垂直起降灵活性与智能飞行巡航效率,特别适合短途交通接驳任务。
金安经济开发区相关负责人表示,依托金安机场配套的智能制造基地,通过建立开放共享的测试场景,将进一步吸引上下游配套企业集聚金安。(石 悦)
" alt="金安机场通航飞行达2388架次">+关注金安机场通航飞行达2388架次
旧普伦
劳英根
下迈廷根
教宗三鐘經:讓心靈擺脫自私、物質享受與暴力
格雷布斯-宁多夫